本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：需要選配冷水機

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統使用，需自備氣源（標準帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體，配有循環(huán)風(fēng)冷系統。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，環(huán)保節能。殼體溫度<70℃。

2、滑軌式結構，方便取放樣品以及快速冷卻。

3、設有雙K型測溫熱電偶和一個(gè)額外的溫度校準檢測系統。

4、采用PID控制器，可以設置30段升降溫程序。

技術(shù)參數

1、電源：?jiǎn)蜗?span style="line-height: 2; overflow-wrap: break-word; font-family: "times new roman", serif; max-width: 886px !important;">220V/380V 8KW

2、石英管：外徑80mm，內徑70mm，長(cháng)1500mm

3、加熱元件：Ni-Cr-Al電阻絲

4、加熱區域：400mm

5、恒溫區域：200mm

6、工作溫度：≤1100℃，連續工作400℃-1000℃

7、升降溫速率：≤10℃/min

8、控溫精度：±1℃

9、真空度：10^-2torr（機械泵），10^-5torr（分子泵）

10、熱偶檢測真空接口：KF-25口：1個(gè)

11、進(jìn)氣接口：2路（可根據客戶(hù)要求設計多路進(jìn)氣），精密不銹鋼針閥密封

12、爐體：1300mm×680mm×920mm

13、滑軌：600mm

產(chǎn)品規格

尺寸：1780mm×1780mm×1650mm；重量：354kg

標準配件

1

石英管堵

1個(gè)

2

KF-25真空擋板閥

1個(gè)

可選配件

1、軟件接口

2、K型熱電偶（用于對爐膛溫度校準）

3、冷水機

4、高速雙極旋片泵

5、數顯真空計

6、高真空機組（機械泵和渦輪分子泵）

5、質(zhì)量流量供氣系統

6、石英樣品架

7、可移動(dòng)爐架（800mm×600mm）